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電感式輪廓儀
一種將觸針位移轉換為電感信號的表面粗糙度測量?jì)x。當電感式傳感器的觸針沿被測表面均速滑行時(shí),觸針的上下位移帶動(dòng)了磁芯運動(dòng),從而改變電橋兩臂電感線(xiàn)圈的電感量,輸出與觸針位移成比例的電信號,經(jīng)放大和運算等處理,即可獲得表面粗糙度參數值和輪廓的記錄圖形。這類(lèi)儀器精度高,可測量高度參數Rₐ,Rz和Ry,間距參數Sm,S以及支承系數tp等十幾個(gè)參數,測量范圍:Rₐ值10~0.02μm,Rz和Ry值50~0.2μm,示值誤差不大于10%或7%。
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